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一、微电子技术实验教学现状
微电子技术实验教学仍采用传统的实验教学模式,即教师先针对本次实验的实验原理部分简单进行讲解,然后学生亲自动手操作,教师帮助学生解决做实验过程中遇到的问题,最后学生以实验报告的形式完成本次实验.目前的教学还是属于填鸭式的教学,学生自身的积极性和创造性并没有调动起来,对学生实际专业能力培养而言,效果不明显,不利于学生分析问题、解决问题能力的培养.如何利用微电子技术实验室资源,采用多种灵活的方法开展工艺实验教学,以此加强对微电子技术专业学生科学实验能力以及专业素质的培养、提高微电子技术实验课程的教学质量,是亟待解决的问题.
二、微电子技术实验教学研究
（1）将“多媒体教学方法”从理论课课堂引入到工艺实验课中,丰富实验教学内容,增强实验教学效果[1-3].多媒体教学方式是现今广泛使用的一种教学手段,但多用于理论课教学中,将多媒体教学方法引入到微电子工艺实验的教学中有以下优点：
① 半导体器件工艺流程和工艺实验结束后的器件剖面图需要展示给同学们,只有通过多媒体才能给学生以直观、清楚的认识.如果不采用多媒体教学,大量器件结构剖面图、设备原理图等,如果完全依赖老师的板书,实验教学内容和效果将大打折扣,而对于一些理论性强、概念抽象、工艺流程复杂的内容,可以起到事半功倍的效果.
② 将微电子工艺专题录像用于微电子工艺实验教学,可以系统、全面地展示微电子工艺过程,有助于学生在做实验之前能在头脑中对微电子器件制造的整个流程有一个直观的认识,对做实验也会表现出浓厚的兴趣,有助于深入学习、研究先进的微电子制造技术.
（2）将TCAD 技术应用到微电子工艺实验教学中,夯实学生对专业技能的掌握.为适应半导体产业对应用型科技人才培养的需求,在微电子工艺实验教学中引入半导体TCAD 技术,对充实教学内容、丰富教学方法、提高学生对专业技能的掌握具有十分重要的意义.以氧化工艺为例来说明其应用[4-6].虽然通过课本和实验课前老师的讲解,学生能够初步了解氧化的机理和氧化设备的工作原理,但是若调节相关的氧化工艺参数会获得什么样的氧化层形貌却没有一个直观的印象.若是想通过氧化工艺实验操作来学习,在获得结果之前需要等待一段很长的工艺运行时间,而且如果参数调整不合理,不仅浪费了原材料,也会对设备造成损害.因此,可以通过工艺仿真来完成氧化工艺的仿真分析.
（3）完善微电子工艺实验课程考核办法,增加预习成绩在实验考核中的比重.在做工艺实验的过程中,同学们普遍暴露出来对专业知识了解少、专业技能和动手能力不强等问题,在很大程度上归因于学生平时没有养成良好的自主学习的学习习惯,在做实验之前没能做好充分的预习准备,而导致达不到预期的实验教学目标.因此,需要向同学们着重强调预习的重要性.同时,需要完善有效的实验考核方案,增加预习成绩在实验考核中的比重,精减学生实验报告内容,把动手能力和综合分析问题的能力及创新能力作为主要考核内容.
三、结语
在广泛调研的基础上,根据信息技术课程特点及微电子技术方面的市场需求等因素考虑,微电子技术实验教学通过采用多种可行、有效的且更加生动、灵活的实验课教学方式,丰富实验教学内容,增强实验教学效果,夯实学生对专业知识的理解和专业技能的掌握,以此来培养具有较高实践能力和竞争力的高级应用型科技人才.H
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